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一、A100L/A200L是紧凑型干泵

用于洁净制程的整体式干泵

具有紧凑结构的洁净制程整体式干泵是专为满足半导体生产设施中的灵活弹性集成要求而开发的。为了在方便在机台内直接安装和快速抽空的设计要求，用于洁净制程的该系列紧凑型泵是装载互锁、传输室以及其他非腐蚀性应用的解决方案。

针对高气流量应用的全新解决方案

普发真空推向市场的用于高气流量应用的全新200m³/h级别产品A200L，再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。凭借着100m³/h 级别产品A100L和200m³/h 级别产品A200L，普发真空为一切洁净制程应用提供完整的产品种类。

优势

● 高气流量

● 体积小巧

● 装配优化

● 购置成本低

应用

● 装载互锁和传输室

● 半导体生产

● 光伏

引导行业的整体式干泵

自从A100L泵问市以来，它改变了半导体行业生产设施中泵的集成问题。基于干式多级罗茨泵技术，尽管尺寸小，整体式干泵依然提供了高抽速和短抽空时间的特点。如今，整体式洁净制程的干泵泵是先进的，且A100系列在全世界范围内很多300mm半导体工厂内进行了安装。

用于装载互锁和传输室的整体式干泵

在诸如装载互锁和传输室等洁净制程应用中，这些泵排除了泵安装中的真空管路影响。通过使用整体式干泵，可降低真空管路安装、集成和调试的成本。该泵在生产过程中提供可持续的杰出性能且具有高效节能的特点。高可靠性和长期稳定性使该泵脱颖而出。

整体式干泵——不仅仅用于半导体行业

该泵能提供干燥和无尘的洁净真空，整体式干泵也为太阳能光电设备提供上佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷却系列的另一优势。小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性。

产品名称：干式真空泵

二、磁悬浮涡轮分子泵

电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”，其转子位置会被不间断的监测和自动调整，并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时，这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。

5轴磁悬浮涡轮分子泵

技术上的杰作

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术，转子 的位置能被实时控制。在工作中，动平衡装置会进行自动校准，可以极小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已？我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择，从而满足各种不同界 面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位，此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。

产品名称：半磁浮涡轮分子泵