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磁控溅射仪当然有辐射，
1、可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，分子/原子光谱。这些光密度不大，不至于刺伤钛合金狗眼. 属于无害辐射。
2、不可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，红外/紫外，分子/原子光谱。 紫外辐射有害
3、X射线：气体电离后的离子，在阴极加快场作用，轰击阴极靶材，作用区也比较复杂，除了完结离子刻蚀溅射以外，还有类似扫描电镜类似的散射出现，如二次电子，二次离子，及各种射线辐射。在样品端，电子会激宣布更多X射线，虽然磁控设备让大部分电子行程增加，到达样品其能量衰减近乎零，但会有一部分阴极电子或二次电子以zui大能量轰击样品，然后会有X射线发生，假如衔接类似扫描电镜附件X射线能谱仪，你会发现惊喜！
至于这些X射线是否有害，一般来说，紫外粒子能量足以电离物质，磁控溅射仪作业电压3000V，理论上zui大辐射能量3Kev, 这些辐射是相当危险的。
关于扫描电镜样品制备驰奔小型溅射仪来说，大多1000V以下作业电压， 玻璃罩子可以有用阻遏紫外能量以上的高能射线，而可见光辐射对人底子无害。
而高能溅射仪，可获得更高溅射功率和膜层牢固度，多选用不锈钢作业首要室，除了可获得超高真空以外，防护有害辐射才能更强。
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